本課程主要在提供學生實作微型元件之機會以培養出來之微奈米機電製程能力，進而訓練啟發學生的創造力、獨立思考與設計微奈米機電元件，訓練學生自行從晶片元件的結構與尺寸設計來達成其致動或感測的目標，並實際經由微機電製程技術來製作出所設計之元件，期能將理論與實務結合，著重在各式微奈米機電系統之基本製程技術之訓練，包含薄膜沉積、薄膜蝕刻、微影製程、晶片接合及體型微細加工(微管道、懸臂梁、薄膜結構)等各式微元件之加工製作，最後則進行元件的實行與實驗，完成一整套的設計、製作、測試、除錯的元件實作課程。並於課程結束後取得奈米機中心之一般訓練認證。